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                華中科技※大學納米圖形發生系◤統單一來源公告

                2020年06月30日 18:44 來源:打印

                公告概要:
                公告信息:
                采〓購項目名稱納米圖形發生系話統
                品目

                貨物/專用設備/專卐用儀器儀表/其他專用儀器儀表

                采購單位華中科技大學
                行政區域湖北省公告時間2020年06月30日 18:44
                預算金額¥560.000000萬元(人民幣)
                聯系人及聯系方式:
                項目聯系人李老師
                項目聯卐系電話87540659
                采購單位華中科技大學
                采購№單位地址湖北省武漢市洪山區華中科技大▅學大學※生活動中心A205室
                采購單位聯①系方式87540659,hustcgzx@hust.edu.cn
                代理機構名稱〖詳見○公告正文
                代理機構ζ 地址詳見公告【正文
                代理機構聯系方式詳見公告正文

                  根據《中華人民共和國政府采購法》等有︽關規定,現對納米圖形發生系統進行單一來源招標,歡迎合格的供應商前來投¤標。

                 

                項目名稱:納米圖形發生系統

                項目編號:HZ20200046

                項目聯系方▆式:

                項目聯系人:李老師

                項目聯那倒真可以威脅到熊王了系電話:87540659

                 

                采購單位聯笑著說道系方式:

                采購單位:華中科技大學

                采購單Ψ 位地址:湖北省武漢市洪山區華中科技大學大⊙學生活動中心A205室

                采購單位聯系方式:87540659,hustcgzx@hust.edu.cn

                 

                 

                一、擬采購的貨物或者服務的說明:

                隨著Si材料電力電子器件逐漸接近其理論極限值,利用寬禁帶半導體材料制造的電力電子器件顯示出比Si和GaAs更優異的特性,給電力電子產◤業的發展帶來了新的生機。相對於Si材料,使用寬禁帶半導體材料(以氮化鎵□和碳化矽為代表)制造新一代的電力電子器件,可以變得更小①、更快、更可靠和更高效。這將減少電力電子元件的質量、體積以及生命周期面容成本◣,允許設備在更高的溫度、電壓和頻率↓下工作,使得電子電子器件使用更少的能量卻可以實『現更高的性能,是世界各國半導體研究領域的熱點。 已建成的微納加工平臺目前擁有400 m2工藝實驗室面積,現可以開展光刻輔助的☆勻膠、噴膠、烘膠、顯影、腐蝕、高溫擴散氧化退火、原子層沈積等工藝;工藝測試區主要有掃描電子顯ㄨ微鏡(SEM)、原子力顯微鏡、高低溫♂探針臺、半導體特性參數測試儀、大功ぷ率手動探針臺、功率器件分析儀等。因此,為了】充分和現有平臺的條件進行結合,在制備∩半導體器件過程中還缺少最核心也是最重要的設備:納米圖形發生系統。該設備隨后恭敬開口道的購置將極大地提高現有微納平臺對的效率和科▲研的進度,為電力電子器件的研究提直接躍入這弱水寒潭之中供保障。該設備的購置將︻為眾多學科領域特別是半導體、光學、材料、物理□ 等領域的用戶研究提供支持。

                 

                二、采用單一來源√采購方式的原因及相關說明:

                納米圖形發生系統是加工納米結構器件的必備手段,該設備的購置將極大地提高現有微納平臺對的效率和科研的進度,為電力電子器件的研究提肩膀供保障,為眾多學科領域特別是半導體、光學、材料、物理等領域的用戶研究提供支持。

                根據實驗室科研的必須要求,擬購置的設備必須同時滿足高分辨率(亞10nm)、高精度套刻、大小寫場靈活調節、低電壓加工能力、高分辨成像能力等技術指㊣標。經調研,市面上僅德國我們怎么進去RAITH GmbH 公司的eLINE PLUS納米圖形發生設備性能充分符◢合技術需求。該項采購這可不是一般符合《中華人民共和國政府采購法》第三十一條ζ第一款“只能從唯一供應商處采購的”的情形。

                 

                三、開標時間:

                 

                四、擬定的唯一供應商名稱及其地址:

                建發(武漢)有限公司

                 

                五、其它補充事宜

                 

                六、預算金額

                預算金額:560.0 萬元(人民幣)

                 

                相關公告